簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="低壓化學氣相沉積"


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    石墨烯/圖案藍寶石基板製備氮化銦鎵發光二極體之研究
    • 材料科學與工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 凃益儒   指導教授： 柯文政
    • 目前LED基板使用為藍寶石基板，而氮化鎵與藍寶石基板間存在著高晶格不匹配度，致使氮化鎵薄膜內部產生 109~1010 cm2 之貫穿型差排缺陷，嚴重影響到後續 LED 元件光電性能。圖案藍寶石…
    • 點閱：274  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/11/22 (校內網路)
    • 全文公開日期 2029/11/22 (校外網路)
    • 全文公開日期 2029/11/22 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    建構快速熱處理之二氯矽烷低壓化學氣相沉積系統進行矽磊晶之實驗
    • 化學工程系 /111/ 碩士
    • 研究生： 呂邦華   指導教授： 洪儒生
    • 本論文以建構一個具有快速熱處理基材的低壓化學氣相沉積系統，並藉以研究以二氯矽烷為原料來沉積矽磊晶膜的變數效應。本研究以掌握裝置初期試車發生的問題並尋找可能的解決方案為研究目的。實驗過程分別針對紅外線…
    • 點閱：107  下載：3 
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